蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作,蒸汽通过拉瓦尔喷咀,减压增速(蒸汽的势能转变为动能)以超音速喷入混合室,与被抽介质混合,进行能量交换,混合后的气体进入扩压器,减速增压(动通转化为压强能),为了减少后级泵的抽气负荷,配置冷凝器,通过有一定温差的两种介质对流,进行热交换,达到冷凝高温介质目的,排到大气压。(原理见下图) 喷射真空泵的内部构件主要有拉瓦尔喷嘴和扩压器组成,单级蒸汽喷射泵的结构如图1所示,其它各级的结构形式与此基本相同。
其工作过程可分为三个阶段:绝热膨胀阶段、混合阶段、压缩阶段。
在绝热膨胀阶段,工作蒸汽通过缩放喷嘴后,压力能转化为速度能,以极高的速度进入扩压器,同时工作蒸汽的压力在喷嘴出口处下降,形成真空把被抽气体吸入;
混合阶段,被抽气体进入扩压器,在扩压器中,蒸汽与被抽气体发生碰撞、混合,进行能量交换,到扩压器喉部完成混合,两种气体达到同一速度;
压缩阶段,经过扩压器喉部后,混合气速度降低,压力进一步上升,在扩压器出口达到大气压力或后一级喷射器的入口压力,把被抽气体排出。